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[编辑：网络] [时间:2019-12-04]
电子厂超纯水设备系统工艺预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(工艺)
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